真空高低温滑台：

北京星微自动化科技有限公司真空精密位移平台可以实现超高真空环境应用10-8pa,接近外太空真空度。重复定位精度1u，并且可以可承受环境温度-200℃~+200℃。在高能物理、精密光学、太空地面模拟实验中大量应用。

• 行程： 50 to 250mm；

• 分别率：1um/步；

• 无回滞，刚性强；

• 承载能力：20kg；

• 可堆叠 xyz三轴平台

• 真空：1 x 10-10 mbar；

• 烘烤温：200°c；

• 交叉滚子轴承；

• 防辐射： 1 x 106 gy ；

• 可以根据客户要求定制；

• 规格	单位	ltvl	ltvh
  行程	mm	50/ 100 / 150 /200 /250	50/ 100 / 150 /200 /250
  整步分别率	μm	5	1
  velocity	mm/s	15	4
  推荐真空环境中速度	mm/s	2	0.8
  重复定位精度	μm	1	0.2
  水平负载能力	kg	20	20
  负载力矩	nm	<5	<5
  轴向力 @ 500hz iφ = 1a	kg	3	10
  间隙	μm	0	0
  转动, 俯仰 & 偏载 (无负载	μrad	<25	<25
  roll compliance	μrad/nm	33	33
  pitch & yaw compliance	μrad/nm	33	33
  直线	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用步进电机		d35.1	d35.1
  真空	mbar	1 x 10-10	1 x 10-10
  temperature	°c	200	200
  mtbf (5kg负载和30%占空比)	hrs	15,000	10,000