真空步进电机运动平台：

北京星微自动化科技有限公司代理英国aml真空步进电机位移台，真空电机滑台，真空步进电机运动平台，真空电机直线平台，真空防辐射步进电机位移台，真空步进电机直线平台，真空直线平台，真空丝杠平台，真空步进电机丝杆平台，真空防辐射平台，真空步进电机防辐射平台，真空高低温平台的真空度可以达到1x10-8pa,行程可达到250mm,精度可达0.1um,烘烤温度可达200℃,防辐射可以到10*6gy,也可以定制真空电机平台，可以定制固体润滑。

• 行程： 50 to 250mm；

• 分别率：1um/步；

• 无回滞，刚性强；

• 承载能力：20kg；

• 可堆叠 xyz三轴平台

• 真空：1 x 10-10 mbar；

• 烘烤温：200°c；

• 交叉滚子轴承；

• 防辐射： 1 x 106 gy ；

• 可以根据客户要求定制；

• 规格	单位	ltvl	ltvh
  行程	mm	50/ 100 / 150 /200 /250	50/ 100 / 150 /200 /250
  整步分别率	μm	5	1
  velocity	mm/s	15	4
  推荐真空环境中速度	mm/s	2	0.8
  重复定位精度	μm	1	0.2
  水平负载能力	kg	20	20
  负载力矩	nm	<5	<5
  轴向力 @ 500hz iφ = 1a	kg	3	10
  间隙	μm	0	0
  转动, 俯仰 & 偏载 (无负载	μrad	<25	<25
  roll compliance	μrad/nm	33	33
  pitch & yaw compliance	μrad/nm	33	33
  直线	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用步进电机		d35.1	d35.1
  真空	mbar	1 x 10-10	1 x 10-10
  temperature	°c	200	200
  mtbf (5kg负载和30%占空比)	hrs	15,000	10,000